SD 系列干式真空泵
SD 系列干式真空泵
是工業(yè)真空領域的實用設備,依托豎型螺桿結(jié)構(gòu)與全新加熱系統(tǒng),提升了進程耐性,搭配特殊材料帶來的高耐食性與豐富溫度區(qū)間,可適配多場景工藝需求。設備在 20000L/min 級別實現(xiàn)了 35% 的 footprint 削減,達成小型化 footprint 設計,同時實現(xiàn)進一步低電力化,降低運行成本。
該設備符合 SEMI/CE/NRTL 各規(guī)格的高信賴設計,安全性有保障,全新外觀設計兼顧美觀與實用性,底部帶滾輪方便移動部署。設備提供多型號選擇,覆蓋從 10000L/min 到 100000L/min 的排氣速度需求,可滿足從小型實驗室到大型生產(chǎn)線的全場景應用,適配半導體、熱處理、真空鍍膜等多領域工藝需求。設備采用干式設計,無油污染,維護簡單,運行穩(wěn)定,可長時間連續(xù)工作,是工業(yè)真空系統(tǒng)的常用設備。
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