半導體工業用緊湊型空冷干式真空泵

產品名稱: 半導體工業用緊湊型空冷干式真空泵

產品型號: KTS系列

產品特點: 半導體工業用緊湊型空冷干式真空泵
無油 · 空冷 · 單級雙螺桿 · 耐粉塵 · 潔凈兼容
33-80 L/min · 極限 3.3 Pa · 重量 16-28 kg · 并排/移動
一、產品定位
半導體工業：MOCVD 前級、干刻、離子注入、ALD、溶劑回收
緊湊型空冷：16 kg 起，底面積 A4-A5，可放通風櫥/移動車
干式無油：無冷卻水，Class 100 兼容，無油污染
耐粉塵：離子鍍

半導體工業用緊湊型空冷干式真空泵 的詳細介紹

半導體工業用緊湊型空冷干式真空泵半導體工業用緊湊型空冷干式真空泵

三、功能亮點

3.3 Pa 空冷極限：比同級水環泵極限低 100 倍，適合 MOCVD 前級
16 kg 超輕：比同級水冷泵輕 50 %，可手提移動
離子鍍硬鉻螺桿：耐粉塵、耐冷凝液，壽命 20,000 h
可拆式粉塵阱：5 µm 顆粒在線捕集，30 s 清理
磁耦合零泄漏：Class 100 潔凈室兼容，無油污染
54 dB 靜音：比水冷泵低 12 dB，24 h 運行不擾人

四、典型應用系統

復制

MOCVD 前級真空┌─ MOCVD 腔體 ─┐│               │進口← KTS-60 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

泵進口接 MOCVD 腔體，3.3 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命

五、實測數據（MOCVD 驗證）

MOCVD 腔體 100 L，室溫 25 ℃
KTS-60 50 Hz 運行：

2 min 達到 20 Pa
5 min 極限 3.3 Pa
連續 8 h 外殼 <45 ℃，無冷卻水
噪聲 54 dB（比冰箱低）

六、選型與配件

表格

復制

件號	說明
KTS-60-200	200 V 單相標準型
KTS-60-EX	防爆型 Ex d IIB T4（可選）
KTS-60-CT	溶劑冷阱套件（玻璃+干冰）
KTS-60-NW25	NW25 快接法蘭套件

七、維護與可靠性

螺桿：離子鍍硬鉻+DLC，壽命 20,000 h，免維護
粉塵阱：每月清理一次
磁耦合：無磨損，年漂移 < 0.5 %
整機 2 年質保，10 年配件保障

八、結論

Unozawa KTS 系列以「3.3 Pa 空冷極限 + 16 kg 超輕 + 離子鍍硬鉻螺桿 + 54 dB 靜音」四合一設計，讓半導體工業獲得「無油、無冷卻水、耐粉塵」真空源，是緊湊型空冷干式真空泵的「半導體標準機」

三、功能亮點

3.3 Pa 空冷極限：比同級水環泵極限低 100 倍，適合 MOCVD 前級
16 kg 超輕：比同級水冷泵輕 50 %，可手提移動
離子鍍硬鉻螺桿：耐粉塵、耐冷凝液，壽命 20,000 h
可拆式粉塵阱：5 µm 顆粒在線捕集，30 s 清理
磁耦合零泄漏：Class 100 潔凈室兼容，無油污染
54 dB 靜音：比水冷泵低 12 dB，24 h 運行不擾人

四、典型應用系統

復制

MOCVD 前級真空┌─ MOCVD 腔體 ─┐│               │進口← KTS-60 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

泵進口接 MOCVD 腔體，3.3 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命

五、實測數據（MOCVD 驗證）

MOCVD 腔體 100 L，室溫 25 ℃
KTS-60 50 Hz 運行：

2 min 達到 20 Pa
5 min 極限 3.3 Pa
連續 8 h 外殼 <45 ℃，無冷卻水
噪聲 54 dB（比冰箱低）

六、選型與配件

表格

復制

件號	說明
KTS-60-200	200 V 單相標準型
KTS-60-EX	防爆型 Ex d IIB T4（可選）
KTS-60-CT	溶劑冷阱套件（玻璃+干冰）
KTS-60-NW25	NW25 快接法蘭套件