日本 FLOVEL 電動雙面顯微鏡系統(tǒng)
日本 FLOVEL 電動雙面顯微鏡系統(tǒng)
日本 FLOVEL TOMOS-80XY 是專為大尺寸半導(dǎo)體、精密零件打造的電動 XY 平臺雙面顯微鏡系統(tǒng)。產(chǎn)品搭載正立 + 倒立雙 320 萬像素相機(jī),配備 200mm×200mm 大行程電動 XY 平臺與自動對焦功能,可預(yù)先指定測量點(diǎn)位,自動完成 8 英寸及以上晶圓、MEMS、電子元件等工件的雙面圖案、對齊標(biāo)記偏移與尺寸測量,替代人工操作,實(shí)現(xiàn)無人化批量檢測。
系統(tǒng)內(nèi)置智能測量算法,可自動識別各類對齊標(biāo)記的邊緣,精準(zhǔn)計(jì)算中心坐標(biāo)與位置偏差;支持多重精度補(bǔ)償,消除工件安裝與平臺移動誤差,保障測量結(jié)果的可靠性。Z 軸 ±10mm 行程,適配不同高度工件,自動對焦功能確保成像清晰;雙白色 LED 照明支持落射、透射、混合模式,滿足不同材質(zhì)工件的成像需求。
設(shè)備支持雙面圖像疊加顯示、測量結(jié)果自動輸出、地圖制作、配方登記等功能,可選配無需翻轉(zhuǎn)工件的線寬測量功能,大幅提升檢測效率;同時提供軟件、樣品夾持器定制服務(wù),可根據(jù)工件形狀、材料定制專屬檢測方案,適配特殊工件的自動化檢測。
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