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日本toray-eng東麗半導體以及液晶和電子元件的相關應用介紹
日本toray-eng東麗半導體以及液晶和電子元件
MS-500，LC-450A，LC-450D，LC-860
氧氣表MS-500
- 多可以同時測量8個點
- 濃度范圍從ppm到100％均可顯示。
- 非常適合安裝在半導體制造設備，真空設備等上。
- 傳感器是直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
- 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器，以進一步提高耐用性。
MS-500設備規(guī)格
| 測量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 分體式（轉換器：壁掛式，傳感器：直接插入式） | ||
| 顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（密度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓 自動范圍 | ||
| 重復性 | 在±0.5％FS 0-1％范圍內(nèi)或更高 ±1％FS或以下或± 0.1ppm范圍內(nèi)0-1％小于0-1ppm，大于atm范圍不在保證的濃度范圍內(nèi) | ||
| 測量點數(shù) | 1-8 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 10 -3至200 KPa（壓力） | |
| 流量 | 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然擴散狀態(tài)的測量） | ||
| 濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0-100℃ | ||
| 其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 | ||
| 比較氣 | 大氣層 | ||
| 記錄儀輸出 | 僅變速箱輸出 | ||
| 變速箱輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | 沒有 | ||
| 熱身時間 | 6分鐘以內(nèi) | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起） | |
| MS-510（轉換器） | 100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起） | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 總長100 mm（感應部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） | |
| SD25NW | 總長100mm（感應部分Φ11×42，主體部分Φ40×48） | ||
| SD40NW | 總長100 mm（感應部分Φ11×41，主體部分Φ40×49） | ||
| 大眾 | MS-500（控制器） | 約0.6Kg | |
| MS-510（轉換器） | 約0.5kg | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
| SD25NW | 約0.2Kg | ||
| SD40NW | 約0.35Kg | ||
| 外部連接 | 真空法蘭之一（NW16、25、40） | ||
| 使用電源 | 24VDC±10％ | ||
氧氣計LC-450A，LC-450D
可以顯示多種濃度，從在多種濃度下測量的ppm水平到100％。- 改進的傳感器耐用性
氧氣傳感器經(jīng)過特殊處理，以提高其耐用性。 - 交流寬電源AC100-240VAC（LC-450A）
* LC-450D由24V DC驅動 - 緊湊且易于安裝
深度比我們的傳統(tǒng)型號還要短，并且不會占用太多空間。 - 符合RoHS的產(chǎn)品
- CE標志自我聲明產(chǎn)品
EN61010-1：2002，EN61326：+ A3：2003
LC-450A設備規(guī)格
| 測量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
| 顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（密度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0ATM自動范圍 | ||
| 重復性 | 在±1％FS 0-1ppm之內(nèi)，大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍 | ||
| 取樣方式 | 內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓30 KPa以下 | |
| 流量 | 1,000-2,000毫升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 | ||
| 比較氣 | 大氣層 | ||
| 記錄儀 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 在4-20mA和0-20mA之間切換（可選0-10V）絕緣，負載電阻550Ω或更小 記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度 | |
| 輸出范圍 | 0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自動/固定范圍 | ||
| 變速箱輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | 失敗（設備錯誤） | 1分 | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 設備異常導致接點閉合（可以更改接點操作） |
| ALM（濃度警報） | 2點（H / L） | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 發(fā)生警報時觸點閉合（可以更改接點操作） | |
| RDY（預熱信號） | 1分 | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC以下，0.5A以下
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 2分 | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC以下，0.5A以下 | |
| 熱身時間 | 5分鐘以內(nèi) | ||
| 尺寸 | 身體 | 210（W）x 134（H）x 300（D）mm（不包括突起） | |
| 大眾 | 約6kg | ||
| 氣體 連接口 | 進口 | Rc1 / 4 | |
| 旁路輸出 | Rc1 / 4 | ||
| 出口 | Rc1 / 4 | ||
| 使用電源 | 100-240VAC，50VA（穩(wěn)定：35VA）50Hz / 60Hz | ||
LC-450D設備規(guī)格
| 測量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
| 顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（密度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0ATM自動范圍 | ||
| 重復性 | 在±1％FS 0-1ppm之內(nèi)，大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍 | ||
| 取樣方式 | 內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓30 KPa以下 | |
| 流量 | ?1,500L /分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 | ||
| 比較氣 | 大氣層 | ||
| 記錄儀 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 0-10VDC，絕緣，負載電阻600kΩ或更高 （選件：4-20mADC，絕緣，負載電阻550Ω或更低） 記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度 | |
| 輸出范圍 | 0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自動/固定范圍 | ||
| 變速箱輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | 失敗（設備錯誤） | 1分 | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 設備異常導致接點閉合（可以更改接點操作） |
| ALM（濃度警報） | 2點（L / LL） | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 發(fā)生警報時觸點閉合（可以更改接點操作） | |
| RDY（預熱信號） | 1分 | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 在預熱操作期間觸點閉合（可以更改觸點操作）
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 2分 | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC以下，0.5A以下 | |
| 熱身時間 | 5分鐘以內(nèi) | ||
| 尺寸 | 身體 | 240（W）x 134（H）x 210（D）mm（不包括突起） | |
| 大眾 | 約5kg | ||
| 氣體 連接口 | 進口 | Rc1 / 8 | |
| 旁路輸出 | Rc1 / 8 | ||
| 出口 | Rc1 / 8 | ||
| 使用電源 | 24VDC±10％，1.25A（30VA，穩(wěn)態(tài)） | ||
氧氣計LC-860
- 低濃度測量
可以測量ppb到100％ - 操作簡便
按功能可輕松操作 - 吹掃功能
比較氣體更穩(wěn)定，測量更驚鵲（僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格） - 高可靠性傳感器傳感器
內(nèi)部還可以進行防劣化處理（可選）
LC-860設備規(guī)格
| 測量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
| 顯示方式 | 6位數(shù)字顯示（密度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓 自動/固定范圍 | ||
| 重復性 | 氧氣濃度在±1％FS之內(nèi)且小于1ppm和0-1ppm，大氣壓范圍超出保證的濃度范圍 | ||
| 取樣方式 | 內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓30 KPa以下 | |
| 流量 | ?1,500mL /分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 | ||
| 比較氣 | 大氣層 | ||
| 記錄儀 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 4-20mA / 0-10V 4-20mA ：絕緣，負載電阻為600Ω或更低 0-10V：絕緣，負載電阻為500Ω或更高 記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度 | |
| 輸出范圍 | 0-100％，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm，0-1ppm，10 -20 -10 -0 或自動/固定范圍的任意4個范圍 | ||
| 變速箱輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | 失敗（設備錯誤） | 1分 | 非電壓接點，接點容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小 設備異常導致觸點閉合（可以更改接點操作） |
| ALM（濃度警報） | 2分 | 非電壓接點，接點容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小 發(fā)生警報時，觸點閉合（可以更改觸點操作） | |
| RDY（預熱信號） | 1分 | 非電壓接點，接點容量24VDC / AC或更小，0.5A或更小 預熱操作期間觸點閉合（可以更改觸點操作）
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 3分 | 非電壓接點，接點容量24VDC / AC以下，0.1A以下 | |
| 熱身時間 | 20分鐘以內(nèi) | ||
| 尺寸 | 身體 | 288（W）x 144（H）x 400（D）mm（不包括突起） | |
| 大眾 | 約10kg | ||
| 氣體 連接口 | 進口 | Rc1 / 8 | |
| 旁路輸出 | Rc1 / 8 | ||
| 出口 | Rc1 / 4 | ||
| 使用電源 | 100-120VAC±10％200VA 50Hz / 60Hz的 | ||
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